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非光刻方案,佳能开始销售 5nm 芯片生产设备
2023-10-14 15:49:40 来源: 评论:
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佳能(Canon)公司近日发布新闻,开始销售芯片生产设备 FPA-1200NZ2C,表示采用不同于复杂光刻技术的方案,可以制造 5 nm 芯片。
佳能表示这套生产设备的工作原理和行业领导者 ASML 不同,并非光刻,而更类似于印刷,没有利用图像投影的原理将集成电路的微观结构转移到硅晶圆上。
佳能表示会继续改进和发展这套系统,未来有望用于生产 2nm 芯片。
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